紫外線殺菌技術已使用超過100年
紫外線殺菌原理如同陽光中紫外線可以消毒殺菌的方式，不同的是專業紫外線殺菌機中紫外線燈管是利用UV-C (一般能照射到地球的為UV-A及UV-B，UV-C則遭大氣層阻擋)，而短波長的UV-C則可快速殺死及減少細菌及病毒數量。
UVC 波長介於200-280奈米，可破壞細菌細胞的DNA結構，以此達到殺菌消毒效果。目前醫療院所內也皆以紫外線UVC殺菌為主要手段。
因此紫外線殺菌機的好壞視紫外線燈管的能量及透光度，能量愈高，透光度愈高，則殺菌效果愈佳，因此有些專業醫療殺菌機中會放置4支燈管。
UVC LED殺菌
UVC LED則是近年來另一殺菌技術的新研究，由於LED技術的進步，UVC LED已發展至殺菌能力與傳統紫外線汞燈相當，且能提供更安全、無化學殘留的殺菌能力，且耗能更低、更輕小，無傳統汞燈易破裂的問題，使用年限也更長。目前也皆已應用於水中殺菌及空氣及物體殺菌。
紫外線殺菌效果
絕大多數的細菌及病毒，或微生物（如塵蟎等），都可輕易經由UVC殺菌機所殺死。以10坪的密閉空間而言，以小型紫外線殺菌機，只要2HR即可殺死70%以上的細菌及病毒；若是專業醫療型的紫外線殺菌機則1HR內即可。
